特殊材料ニオブターゲット

ニオブターゲットトランジスタ、集積回路、フラットパネルディスプレイなどの半導体デバイスの製造に使用できます。ニオブ製品は化学的安定性と導電性に優れており、半導体製造プロセスにおけるマスクと導電性に優れた役割を果たし、デバイスの安定性と信頼性を確保できます。ニオブターゲットは、金属、セラミックス、その他の材料の表面処理用のPVD（物理蒸着）コーティング材料として使用して、耐摩耗性と耐腐食性の保護層を形成できます。ニオブ製品は、コーティングプロセス中に優れたフィルム形成特性と化学的安定性を示し、コーティングの硬度、接着性、耐腐食性を向上させることができます。

1.平面ターゲット、円筒ターゲット、アークターゲット、特殊形状ターゲット。ニオブの融点は2468度、沸点は4742度、水に不溶、密度は8.57g/cm³、原子番号は41で、灰白色の遷移金属元素です。ニオブ元素は光沢のある灰色の金属で、高純度のニオブ金属は延性が高いですが、不純物含有量が増えると硬化します。ニオブは熱中性子の捕捉断面積が低いため、原子力産業でかなり使用されています。ニオブとその合金膜の主要成分として、ニオブターゲットカラーTFT LCDタブレット、光学レンズ、電子画像、情報ストレージ、太陽電池、ガラスコーティング、輸送や化学生産などの耐腐食環境で広く使用されています。現在、ニオブスパッタリングターゲットは、ガラススクリーンの反射防止効果を持つ先進的なタッチスクリーン、フラットパネルディスプレイ、省エネガラスの表面コーティングに主に使用されています。

2.ニオブは銀灰色の希少で、柔らかく、展性のある遷移金属です。ニオブターゲット材料は99.95％以上に達し、粒径が小さく、再結晶構造が良好で、三軸一貫性が良好です。

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