高レベルの金属シリコン金属97

微量および微量不純物要素の同時決定AL、CA、FE、MN、P、Cr、Cu、Ni、Ti、V、Zr、ASおよびBは、誘導結合血漿原子発光分光法（ICP-AES）を誘導して結合しました。シリコンメタル97。シリコン金属標準サンプルであるNIST SRM -57 aは、最適化された機器条件とアッセイ媒体の下でシリコン金属サンプルを決定するための満足のいく結果で決定されました。シリコン金属サンプルの微量および微量不純物の回収率は95％〜105％であり、相対標準偏差RSDは5％未満であり、操作が容易で、分析が速く、正確で信頼できる結果でした。

1.マイクロセンサーシステムでは、多層融合が可能ですシリコンメタル97相互接続プロセスを使用して、マイクロセンサーとICチップがモノリッシュに統合されている場合、アルミニウム接続がマイクロセンサーの製造プロセスに必要なアニーリング高温に耐えられず、標準のCMOプロセスで相互接続構造を処理できるという事実を克服するために使用されます。製造コストを削減するライン。テープアウト後、相互接続構造には、強力なステップカバレッジ、良好な熱安定性、低抵抗率、簡単なドライエッチングの特性があり、大規模なICマルチレイヤー相互接続の要件を満たすことができます。アニーリング条件がそれぞれ500度5、h、600度、30分、650度5、およびMinである後、それで構成される大規模なデジタルアナログハイブリッド積分回路は、その性能を保持します。上記のアニーリング条件は、強誘電性薄膜に基づいたマイクロセンサーシステムのモノリシック統合の要件を満たしています。

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