高レベルの合金アルミニウムワイヤの1つ

多層配線のプロセス方法アルミニウム相互接続、スルーホールアルミニウムワイヤ相互接続とセミコンダクター製品。メソッドは次のとおりです。タングステンバックエングレーブは、接触穴にタングステンプラグを形成し、接触穴の外側の金属タングステンを除去しました。記述されたタングステンプラグは、金属アルミニウムの下層層を通信します。タングステンの背中に刻まれたウェーハの表面に導電性材料層をスパッタリングします。アルミニウムの上層は、この伝導材料層.の表面にルーティングされています。アルミニウムワイヤ相互接続VIASの構造には、下部金属アルミニウム、タングステンプラグ、金属チタン層、および上部金属アルミニウム. .の後の段階にある段階にある段階的な段階にある段階にある段階的段階にある段階にある段階的な段階にある段階的な段階にある段階にある段階的な段階にあります。金属Ti層などの伝導材料層の層の層、タングステンプラグとアルミニウム金属の上層層との間の良好な接着により、上下のアルミニウム金属相互接続VIAの信頼性が向上し、上下のアルミニウム金属の接触抵抗が効果的に減少し、Tungstenプラグのオンレジスタンスが安定している{4}

1.ある種 アルミニウムワイヤ 半自動アルミニウムワイヤボンディングマシンに使用される機械スチールノズル、つまり、ワイヤーパイプ、ワイヤーダクト、ブレード、ブレードの制限プッシュロッドで使用されるアルミニウムワイヤマシンスチールノズル、ワイヤーボンディングプロセスが結合されると、アルミニウムワイヤーマシンスチールノズルが直接こすり、アルミニウムワイヤーを削除し、電気エネルギーに電気エネルギーを誘導します。アルミニウムワイヤマシンのスチールノズルのアルミニウムワイヤ端に接触し、アルミニウムワイヤーとチップが交差点で一緒に溶接されるようにします。したがって、スチールノズルには、高い結合精度、強い耐摩耗性、非常に滑らかな接触面の特性があります。同時に、スチールノズルは、生産効率を改善し、サービス寿命を延長するために、アルミニウムに固執することなく、200、{3}}溶接ジョイントの連続溶接の特性を長時間溶接溶接溶接溶接の特性を持っています.}

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